【作 者】但磊;黃坤蘭;楊屹;楊剛;劉劍

　　近年來，隨著制造領(lǐng)域中微型化趨勢的不斷發(fā)展，對微型零件的需求量逐漸增加，微型齒輪作為微型機械(micro machine)和微型機電系統(tǒng)(microelectro-mechanical system , MEMS)中重要的傳動部件需求量激增。眾多國內(nèi)外專家學者致力于高質(zhì)量微型齒輪制造技術(shù)的研究，并取得了許多成果。目前，微型齒輪的加工技術(shù)主要有LIGA技術(shù)[1]、準LIGA技術(shù)[2]、微細電火花加工技術(shù)[3]等，但均存在一些不足之處：LIGA技術(shù)雖然能夠制造出高精度微型齒輪，但是X光源獲取成本高，且需要3D微結(jié)構(gòu)的模板;微細電火花加工技術(shù)在加工過程中，由于磨損必須更換導線絲，另外由于導線剛度不足，加工時容易斷裂，降低了微型齒輪的成形精度。微塑性成形技術(shù)由于成形工藝簡單，生產(chǎn)成本低，成形件質(zhì)量好，生產(chǎn)效率高，在微型零件生產(chǎn)中具有廣闊的應(yīng)用前景[4]。目前，主要的微塑性成形技術(shù)包括微擠壓、微沖壓、微模鍛等工藝[5-6]。

　　本文以TC4鈦合金為坯料，在電場輔助作用下微塑性成形微型齒輪，研究成形溫度對電場輔助塑性成形TC4微型齒輪的影響。

　　【結(jié) 論】

　?。?）采用電場輔助塑性成形技術(shù)成功制備了TC4微型齒輪。研究證明電場輔助塑性成形技術(shù)是快速制備高精度鈦合金微型齒輪的有效方法。

　　（2）TC4微型齒輪的電場輔助塑性成形過程可以分為三個階段：快速升溫階段，墩粗與填充階段和完全充滿階段。

　?。?）成形溫度在電場輔助塑性成形TC4微齒輪的過程中產(chǎn)生重要影響，當成形溫度為1200℃時成形出的微型齒輪填充質(zhì)量最好。

　　（4）TC4鈦合金在微型模具中通電熱成形為微型齒輪后，組織形貌由原來的(α+β)雙相等軸組織變成了層狀的魏氏組織。同時齒頂部位的微觀組織在電場、溫度場和力場的藕合作用下多呈短片狀分布，晶粒細化，齒尖邊緣有無畸變的等軸α晶粒生成，晶間β相呈短桿狀均勻地分布在α相晶界上。這對提高微型齒輪的成形精度起到重要的影響。

　　以下是正文：